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水處理知識
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電子行業(yè)半導體用超純水設備、集成電路板高純水設備
日期:2012-2-28   來源:海源水處理


 

半導體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件、微電子工業(yè)、大規(guī)模、超大規(guī)模集成電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。集成電路的集成度越高,對水質的要求也越高。目前我國電子工業(yè)部把電子級水質技術分為五個行業(yè)標準,分別為18MΩ.cm、15MΩ.cm、10MΩ.cm、2MΩ.cm、0.5MΩ.cm,以區(qū)分不同水質。
制備電子工業(yè)用超純水的工藝流程
① 預處理-反滲透-水箱-陽床-陰床-混合床-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-精制混床-精密過濾器-用水對象
 ② 預處理-一級反滲透-加藥機( PH調節(jié))-中間水箱-第二級反滲透-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
 ③ 預處理-反滲透-中間水箱-水泵-EDI裝置-純化水箱-純水泵-紫外線殺菌器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象
 ④  預處理--反滲透--中間水箱--水泵--EDI裝置--純化水箱--純水泵--紫外線殺菌器--精制拋光混床---TOC分解器-0.2或0.5 μ m精密過濾器-用水對象 (新工藝)
電子超純水設備特點:
設備通常由多介質過濾器,活性碳過濾器,鈉離子軟化器、精密過濾器等構成前期預處理系統(tǒng)、RO反滲透主機系統(tǒng)、離子交換混床(EDI電除鹽系統(tǒng))系統(tǒng)等構成主要設備系統(tǒng)。水箱均設有液位控制系統(tǒng)、水泵均設有壓力保護裝置、在線水質檢測控制儀表、電氣采用PLC可編程控制器,真正做到了無人職守,同時在工藝選材上采用推薦和客戶要求相統(tǒng)一的方法,使設備與其它同類產品相比較,具有更高的性價比和設備可靠性。
電子超純水應用領域:
⊙ 半導體材料、器件、印刷電路板和集成電路;
⊙ 超純材料和超純化學試劑;
⊙ 實驗室和中試車間;
⊙ 汽車、家電表面拋光處理;
⊙ 光電產品;
⊙ 其他高科技精微產品;
公司擁有一支業(yè)務精干、管理經驗豐富、設計生產施工技術過硬的精英團隊;配備先進、專業(yè)的加工、施工設備,建立了完善的質量保證體系;以優(yōu)良的產品、精湛的技術、完善的售后服務,為廣大用戶提供優(yōu)質服務。多年來,承蒙廣大用戶的支持與厚愛,公司發(fā)展迅速,業(yè)務已經拓展到國外多個國家與地區(qū)。
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